Мастер-ремесленник в области химико-механических полировальных жидкостей для аэросила (часть вторая) 

Чтобы дополнительно изучить эффективность пирогенного кремнезема в улучшении химико-механической полировки, технический персонал компании Hubei Huifu Nanomaterials Co., Ltd. провел эксперименты и проанализировал данные для подтверждения этого эффекта.
Техники Huifu Nano исследовали роль пирогенного кремнезема в растворах для химико-механической полировки в двух измерениях: при различных уровнях добавления и различной удельной поверхности.
В эксперименте по дозировке гидрофильный пирогенный диоксид кремния HL-200 добавлялся в концентрациях 5%, 10% и 15% в суспензию CMP. После тщательного диспергирования в течение 20 минут в высокоскоростном диспергаторе стеклянные подложки подвергались полировке в течение одной минуты. Затем с помощью тестера шероховатости измерялась шероховатость поверхности.

Результаты испытаний показывают, что шероховатость поверхности Ra стекла, отполированного 5% раствором полировального средства HL-200, составила 0,868 мкм. При добавлении 10% HL-200 шероховатость поверхности Ra составила 0,623 мкм, а при добавлении 15% HL-200 — 0,104 мкм. При увеличении доли добавки с 5% до 10% шероховатость уменьшилась на 28%. Однако при увеличении доли добавки с 10% до 15% шероховатость уменьшилась на 83%, что свидетельствует о все более значительном снижении. Это указывает на то, что с увеличением добавки пирогенного кремнезема шероховатость стекла уменьшается, а полирующий эффект раствора постепенно улучшается.
В эксперименте по определению удельной поверхности гидрофильный пирогенный диоксид кремния HL-200, HL-300 и HL-380 добавляли в концентрации 10% в раствор для химико-механической полировки. После тщательного диспергирования в высокоскоростном диспергаторе проводили эксперименты по полировке с использованием алюминиевой фольги.

Результаты испытаний показывают, что при визуальном осмотре шероховатости поверхности и блеска трех наборов алюминиевых листов, различные виды пирогенного кремнезема с различной удельной поверхностью оказывают сопоставимое влияние на шероховатость полированных алюминиевых листов при одинаковых уровнях добавления и эквивалентной яркости поверхности.
Благодаря высокой чистоте, превосходной стабильности и диспергируемости в сочетании с твердостью, совместимой с различными материалами, пирогенный диоксид кремния демонстрирует уникальные преимущества в полировальных растворах, зарекомендовав себя как незаменимый ключевой компонент во многих секторах высокоточной обработки материалов.
В перспективе быстрое развитие новых технологий, таких как 5G, искусственный интеллект и Интернет вещей, будет стимулировать постоянное повышение требований к точности поверхности во всех отраслях, включая полупроводники и оптику. Это будет способствовать дальнейшим инновациям и развитию технологии полировальных паст на основе кремнезема. С одной стороны, технические специалисты Huifu Nano будут постоянно совершенствовать процессы подготовки кремнезема и методы обработки поверхности, разрабатывая продукты с превосходными характеристиками и более экономичные решения для удовлетворения растущих потребностей различных отраслей. Одновременно с этим углубление понимания механизмов полирования позволит интегрировать полировальные жидкости на основе кремнезема в паровой фазе с другими передовыми технологиями. Такая конвергенция обещает более эффективные и интеллектуальные процессы полирования, предвещая новые прорывы и возможности развития в области обработки материалов. Перспективы применения кремнезема в паровой фазе в полировальных жидкостях остаются обширными. Он будет продолжать играть ключевую роль в обработке материалов, способствуя повышению точности и качества современного производства.